激光干涉儀-精度標定
發布時間：
2020-03-16 11:25
來源：
采用英國雷尼紹的激光干涉儀和瑞典?？怂箍档亩卧雀呔葮硕▋x調試工具。
激光干涉儀具有超高分辨率，可達0.001μm。我們對各運動軸進行高精度標定，絕對定位精度小于±1μm。重復定位精度小于±0.5μm。配合先進的龍門雙驅算法，為高精度微組裝工藝提供可靠保障。
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